打造半导体工厂智慧物流“毛细血管”

Fully Auto有门道。

晶圆仓与洁净室Stocker之间，高速的OHT系统连接，主要覆盖Inter Bay，是生产物流“大动脉”;

在Stocker与E-Rack再到机台上下料环节，采用AMR，覆盖Intra Bay，是工厂里的物流“毛细血管”。Inter Bay上主打一个快，Intra Bay中讲究一个细腻。AMR与OHT互为补充，共同铺开半导体生产的智能化升级通路。

1、集群调度

支持1000+AMR共场作业

多机型协同调度

2、全景覆盖

全治具搬运

强辐射、高洁净、高震动场景适配

3、系统兼容

智慧生产系统协同打通

实现整场智慧物流建设

（来源：优艾智合机器人）