NDT-3MRL/I002 三维模块式工作台

　　NDT系列纳米级精密定位工作台，具有很高的位移精度，可作为微位移、微定位的基础平台应用于以下领域：在微型机械制造、超精密加工方面，可用于机械加工中的精密进给系统、微型机电系统的加工、封装及装配操作、精密刻划技术等。 在集成电路制造方面，在大规模集成电路制造中，可以用作X曝光机等设备中的超精密定位装置及高精度微进给装置。 在生物工程方面，用于完成细胞级的操作，真正实现生物操作工程化。 在医疗科学方面，可用于显微外科手术，大大减轻医生负担,缩短手术时间，提高成功率。 在光纤对接方面 可用于光纤之间的精密对准 另外，还可用于光学调整、扫描隧道显微镜、微刻蚀、微雕刻、电化学加工、对位移的精密补偿等方面。

主要特点：

·采用压电陶瓷驱动；
·纳米级位移分辨率；
·重复定位精度高；
·优良的频率响应特性；
·采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构；
·可内置LVDT或电阻应变片式微位移传感器，方便实现死循环控制；
·机体材料可选择铝合金、Invar合金等，适用于不同的应用场合；
·采用电火花、线切割等加工工艺，以严格保证加工精度；
·从一维到六维六十余种型号，已形成系列产品；
·采用先进的表面处理工艺，提高了适应不同工作环境的能力。

结构尺寸图：